Читать «Перелом. Часть 3» онлайн - страница 127

Взять тот же фоторезист. Методы фотолитографии вообще-то известны уже давно. Так, в 1852 году в Англии было запатентовано использование смеси бихроматов - солей дихромовой кислоты - с желатиной - эта смесь становилась нерастворимой на освещенных участках. Эти "хромированные коллоиды" применяют в полиграфии и сейчас. В тридцатых годах уже двадцатого века были открыты фоторезисты на основе коричной кислоты в матрице природных пленкообразующих смол. И получение этого фотореактива дело не слишком сложное - в реакциях участвуют либо ацетон с бензальдегидом, либо бензойный альдегид с уксусной кислотой - в присутствии каких-нибудь хлорных соединений - все эти реакции были известны и как минимум на уровне лабораторного производства не представляли никаких сложностей.

Но основным нашим фоторезистом стали соединения на основе диазосмол. Собственно, диазотипия - светокопирование с использованием солей диазония - было открыто еще в 1923 и с тех пор массово использовалось для копирования чертежей и других изображений (а до того - с 1902 года - для этих же целей использовалась цианотипия - пресловутая "синька", чье название перешло у нас и на диазотипию, хотя цвет чертежей был уже не синим). Эти процессы подходили для светокопирования, но не для фотолитографии, которая требовала плотного покрытия, а не просто покрытия слоем кристалликов - между их гранями все-равно к подложке будут проникать ненужные вещества. Поэтому-то мы и использовали полиграфические методы фотолитографии - там также требовалось сплошное покрытие, которое образовывали полимеризующиеся молекулы какого-нибудь органического вещества.

Как раз диазониевые соли для этого и подходили - они выступали катализатором отверждения разнообразных органических соединений - например, еще в 1931 ее использовали для отверждения слоя животного клея под действием света. Правда, для газет было достаточно разрешения и в две-четыре линии на миллиметр, но с помощью этой же технологии получали и печатные формы для журналов, где требовалось более высокое качество - собственно, после освобождения Минска в начале сорок второго у нас и появились как технологии, так и настоящие специалисты по фотолитографии - минские типографии были оборудованы можно сказать по последнему слову техники. С их-то помощью мы в конце концов и получили на небольших площадях разрешение уже двести линий на миллиметр, то есть пять микрометров - как раз с некоторым запасом для проектных норм в десять микрометров. Дальше пока был затык - там и слишком сильное набухание частей фоторезиста, которые будут смываться - они сдвигали незасвеченные участки, да и других возникающих дефектов хватало, так что работы предстоит еще много - ведь чем толще слой пленки фоторезиста - тем сильнее набухание и деформации, а чем этот слой тоньше - тем вероятнее возникновение проколов и просто дырок, разрывов, когда при сушке слой фоторезиста несколько стягивается, так что может даже порваться.