Читать «Еще не поздно. Часть 3. Разбег Пандоры» онлайн - страница 53

 Поэтому в изучении структуры не слишком помог даже чудесный сканирующий микроскоп "Stereoscan", закупленный с помощью какой-то ужасно детективной истории и астрономического количества валюты. Слишком много областей на кристалле нужно было исследовать с его помощью. Впрочем, прибор эксплуатировали в уже привычном для микроэлектронной промышленности четырехсменном режиме, и, как по секрету сообщил Алферов, полезных фактов успели собрать не на одну диссертацию.

 \\\В 1965 году фирмой "Cambridge Instrument Co." был выпущен первый коммерческий сканирующий электронный микроскоп -- "Stereoscan".\\\

 Единственное, в чем ученые были уверены - так это в непригодности существующей методики газотранспортной эпитаксии к повторению предоставленных мной образцов. Образно говоря: "нельзя ювелирные работы делать кувалдой". Поэтому весь коллектив НИИ готовился свернуть горы на пути к принципиальному усовершенствованию технологии. Работали ребята весело и с ненаигранным азартом.

 \\\Газофазная эпитаксия -- получение эпитаксиальных слоев полупроводников (т. е. ориентировано выращенных на специальной подложке) путём осаждения компонентов нужного состава из потока газа, движущегося с небольшой скоростью. Один из основных методов в середине 60-х (наряду с жидкофазной эпитаксией).\\\

 К сожалению, названные методы мне совершенно ничего не говорили. Что бы не расстраивать Алферова, попросил перечислить все связанное с его отраслью термины. Через несколько минут мой слух "зацепился" за турбомолекурярный насос. Когда-то, еще в школе, преподаватель рассказывал о принципе работы этого устройства, в котором движущиеся лопатки чуть не по одной загоняли молекулы воздуха через неподвижные наклонные щели. И говорил, что это очень важное устройство для изготовления полупроводников. Но на "Пульсаре" ничего похожего я не видел.

 \\\Первый турбомолекулярный насос был построен в 1958 году Беккером (Becker). К 1965 за рубежом появились уже вполне серийные изделия.\\\

 Мое заявление в духе "вот про эту штуку я слышал, кажется, она совершенно необходима" вызвало неоднозначный эффект. Оказывается, одно из перспективных направлений исследований действительно требовало глубокого вакуума. Но и другое обойтись без подобной техники не могло. Поэтому мои дилетантские слова были восприняты не иначе как руководство к очередной научной дискуссии. И попробуй возрази - в разгоревшемся споре я понимал лишь некоторые предлоги и наречия.

 \\\В конце 60-х были разработаны эпитаксия с помощью металлоорганических соединений и молекулярно пучковая технология (катодное осаждение). Теоретически, использовать для производства лазеров можно оба метода, но первый заметно дешевле.\\\