Читать «Еще не поздно. Часть II. На распутье.» онлайн - страница 117
Павел В Дмитриев
Топологию с чипа получили в готовом виде, для этого ничего не требовалось кроме хорошего микроскопа. Нам дико повезло, что он был однослойным, что совсем не характерно даже для изделий 90-х годов. Кроме значительного выигрыша во времени, это позволило обойти часть совершенно неочевидных для 65-го года технологических капканов. С остальными задачами все было не так радужно.
Для начала, технология в образце использовалась на 6 мкм. И это мне еще жутко повезло, позже я понял, что встретить чип "хуже 1 мкм" в 2010 году почти невозможно. Оборудование "Пульсара" позволяло только 10 мкм, но тут, по крайней мере, все казалось вполне "земным", не было особых вопросов по происхождению часов.
Главное, мои представления о послойной "шлифовке" для понимания химсостава оказались несколько... примитивными, если не сказать больше. Дело в том, что сам полупроводник, по сути, простой легированный материал. Состав веществ давно известен, нужно всего-то узнать трехмерную структуру, по которой все это распределяется. Для понимания устройства затвора, к примеру, нужно в микроскопе выбрать точку, где есть нужная "конструкция", и испарять все слои, пока есть подозрение, что они там вообще есть. В идеале - вообще насквозь. В процессе масс-спектрометром смотреть, из чего состоит слой. Причем все это в глубоком вакууме. И так - во многих точках.
Но образец-то один! А надо - хотя бы несколько десятков, лучше сотен. В общем, что-то, конечно, из артефакта получили. Даже спорили между собой, что важнее смотреть, потом - почему так получилось. Многие уже не знают куда складывать заявки на авторские свидетельства от подобных мини-открытий.
Но основным драйвером прорыва всеже стало обычное человеческое упрямство. В шестидесятых это еще играло роль, ученые считали себя как минимум "не хуже американцев". И грызли проблему едва ли не зубами.
Следующей проблемой стало совмещение слоев. Возможно, она даже самая сложная на данном этапе, если не считать подбор химии всяческих паст и порошков. Засвечивать фоторезист на пластине кремния нужно далеко не один раз. Тут не увеличенный масштаб шаблона, а натуральный. Так что точность совмещения -- единицы микронов. Без автоматики, руками не слишком квалифицированных сотрудниц. Но ничего, после написания инструкции на два десятка листов даже это стало получаться.
Сейчас молодые топы "Пульсара" удивляются своей наглости, полученному результату, и присматривают новые костюмы для выхода на церемонию торжественного награждения. Без этого не обойдется, они добились немалого за удивительно короткий срок.
Сейчас сидят в курилке и сплетничают на производственные темы. Меня давно не стесняются, привыкли, как продавщицы из супермаркета к видеокамере над кассой.
